Pam Bertingkat Magnetik, CXF-320 / 3001E, Penyejukan air, ISO-F, Di atas kapal

Penerangan Ringkas:

Galas elektromagnet juga disebut "beruang aktif magnetik aktif", yang terdiri daripada bantalan magnet, sensor dan sistem kawalan. Reka bentuk ini mempunyai tindak balas dinamik dan penyesuaian tepat pada masanya, pergeseran berkelajuan tinggi dan operasi yang boleh dipercayai.


Perincian Produk

Teg Produk

Pam molekul yang dilambung secara magnetis adalah pam yang shafting disokong oleh kekuatan magnet.
Pam molekul bermagnet siri adalah peralatan penjanaan vakum yang dikembangkan oleh KYKY untuk memenuhi keperluan aplikasi untuk bidang pembuatan semikonduktor moden, pembuatan cip, penyaduran industri dan instrumen saintifik.

Kelebihan:

1. Geseran sifar semasa operasi, dan penggunaan kuasa rendah
2. Mudah diperolehi vakum tinggi yang sangat bersih dan vakum ultrahigh tanpa pelinciran untuk pam
3. Berkeupayaan mengeluarkan gas yang menghakis untuk jangka masa panjang
4. Keselamatan dan jangka hayat yang tinggi kerana perlindungan galas dengan bola seramik yang tepat
5. fungsi menjana kuasa sekiranya berlaku pemadaman secara tiba-tiba
6. Bebas geseran
7. Bebas daripada pencemaran
8. Bebas penyelenggaraan
9. Getaran rendah
10. dipasang dalam sebarang orientasi.

Permohonan:

Pam molekul bersiri magnet dilekatkan terutamanya pada bidang pembuatan semikonduktor, pembuatan klip, penyaduran industri dan instrumen saintifik, terutama untuk pengekstrakan gas korosif yang terdapat pada penanaman etch, CVD, PVD dan ion serta gas yang mudah terkumpul pada suhu normal.

Spesifikasi:

Model CXF-320 / 3001E
Kelajuan Pam (l / s, Udara) 3200
Nisbah Mampatan > 1 × 108
Vakum Muktamad (Pa) ≤5 × 10-7
Flange masuk ISO-F 320
Flange Outlet KF 40
Kelajuan Putaran (rpm) 24000
Masa Akhir (min) 12
VIB (mm) <0.05
Pam Penyokong (L / s) 15
Pemasangan atau lekapan Sebarang
Kaedah penyejukan Air
Berat (kg) (Dengan Pengawal) 75

Teknologi:

  • Teknologi kawalan untuk Galas Magnetik: 5-paksi yang dilambung secara magnetis, berdasarkan teori kawalan antarabangsa yang maju, untuk menjamin kelebihan ketara dari pergeseran berkelajuan tinggi seperti operasi levitated yang stabil dan boleh dipercayai.
  • Teknologi Kawalan Pemacu Motor: Motor DC berkelajuan tinggi berkelajuan tinggi dan sistem kawalan servo, mempunyai tenaga maksimum motor dan untuk mengimbangi kelajuan putaran shafting secara automatik, sehingga mewujudkan permulaan yang stabil, operasi yang dapat diandalkan dan fungsi regulasi automatik tenaga dinamik.
  • Teknologi pemutar komposit gentian karbon: Dibuat dengan menggabungkan aloi aluminium berkekuatan tinggi dan serat karbon ringan. dicirikan dengan pengurangan berat badan yang besar dan peningkatan kekuatan yang besar, sehingga sasaran kelajuan putaran tinggi, prestasi tinggi dan kebolehpercayaan tinggi dicapai.
  • Teknologi tahan kakisan: Permukaan bahagian dalam ruang dirawat dengan proses khas, sehingga permukaannya dapat menahan kakisan yang disebabkan oleh gas kakisan dalam proses pembuatan semikonduktor untuk waktu yang lama. Di samping itu, gas lengai seperti N2 diisi penuh dalam pencucian pam untuk melindungi bahagian vakum rendah di dalam pam, sehingga fungsi gas korosif yang cukup habis untuk jangka masa panjang dapat direalisasikan.
  • Sistem kawalan suhu pemanasan: dilengkapi dengan pemanas elektrik dan pengawal suhu, air penyejuk, pemanasan tulang udara, pemanasan elektrik dan haba yang dibawa oleh gas pelindung dapat dipantau dan dikendalikan semasa operasi, suhu di pam dapat dikekalkan pada beberapa nilai untuk jangka panjang, beberapa gas bahan tidak ditukar menjadi bahan pepejal pada suhu normal dan tidak disimpan di pam, dan syarat untuk proses khas seperti etsa dapat dipenuhi.

  • Sebelumnya:
  • Seterusnya:

  • Tuliskan mesej anda di sini dan hantarkan kepada kami

    Kategori produk